真空系统的工艺要求

　　镀膜机:已广泛应用于塑料、工艺礼品、包装、光学、电子、玩具、建材、五金、钟表、珠宝、汽车等行业，镀膜机行销范围遍及全国。在操作流程上，从原材料采购、设备制造、操作管理、技术人员现场安装调试到售后服务，形成了有序、完善的质量管理体系。炉体可选用不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双水冷结构。根据工艺要求，选择不同规格和类型的镀膜设备，包括电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。夹具操作形式有旋转、转数和转数+旋转三种模式，用户可根据基片的大小和形状提出相应的要求，转速范围和旋转精度:普通可调和变频调速。

　　真空系统由机械泵、扩散泵、油增压泵、膨胀泵、罗茨泵、锅轮分子泵等组成，以及与之配套的各种气动、手动、电动阀门和管路。选择电镀系统根据技术要求和形式,如电阻蒸发(钨、钼舟、石墨船)磁控管源(同轴圆柱形磁控管来源,列平面磁控源、矩形平面磁控管来源,等等)的材料和尺寸目标弧源(ФФ60,80年目标材料直径、气动、电弧,等等),真空测量可选用数字式智能真空计及其测量计管，以及其它测量仪表，如自动压力控制仪表等。薄膜厚度可用电阻计、透射率计等测量。充电方式可采用质量流量计、浮子流量计+针形阀及相应的充电阀，并可选择多个充电管道及相应的流量参数。根据要烘烤的结构提出烘烤温度、材料以及需要配备相应的仪器进行测量。根据设备的特点，可选择手动、半自动、全自动或其组合控制。完善的报警系统可以对真空室体、扩散泵断相、缺水、气压、供电负荷过压、过流等异常情况进行声光报警。